内层酸蚀

线宽的控制：每批次板件进行首板试蚀，对首板有阻抗要求的线按设计的公差进行测量，合格再批量生产。

尽量保持匀速的蚀刻速率，降低各参数的波动范围，提高蚀刻均匀性和蚀刻因子。

图1：蚀刻因子与侧蚀量关系示意图

评价蚀刻速率的好坏可以用蚀刻因子来进行评价：

关键控制点之层压

• 控制层压厚度公差，以免影响板厚均匀性和介质层厚度；
• 控制层压流胶，以保证coupon阻抗边条的代表性合理。
• 必要时，层压后需做切片验证介质层结构、厚度及公差。
• 室内温湿度控制:
  • PP 切割间：R.H. ≤50%，Temp：23±2℃
  • 冷库：R.H. ≤50%，Temp：23±2℃
  • 叠板间：R.H. ≤65%，Temp：23±2℃

图3：关键控制点之层压

使用测试COUPON的好处

• 它是易于测试控制阻抗的测试方法；
• 它并不与实际线路有关联，但能找出不正确的成品；
• 可采用较短的讯号传输线（一般短于150mm，通常采用≥86.36mm）做出精确的测试结果。

设计coupon时的注意事项

• 其蚀刻后之线宽是否与成形区内的线宽一致；
• 拼摆放位置是否因板边流胶而造成介电厚度不足；
• 其微线路密度是否影响图电均匀性；
  （否则coupon失去代表性）

图4： 测试COUPON部分

阻抗测试注意事项

• 避免工作人员的手指及外部物质与测试样板接触；
• 板件需平置于防静电胶垫上，测试者需戴手套及防静电环；
• 测试时，探针需垂直对准测试图形，并向下轻按；
• 外层的阻抗线要在所在的层面上测试；
• 维持室内温度和湿度的恒定。

图5：阻抗测试设备操作现场

阻抗超差分析与改进

若批量抽查有阻抗超差时按如下步骤处理改进：

1. 物理室对此批板件进行全检；
2. 立即反馈相关品质及工程对异常板进行处理；
3. 分析阻抗设计是否正确；
4. 检查阻抗测试图形菲林是否正确；
5. 检查参考层是否按要求制作；
6. 对比分析实际测量值、据切片结果的计算值和理论设计值；
7. 根据分析结果，主要从叠层、线宽等方面进行改进。

图6：阻抗超差问题处理流程图

阻抗控制改善途径有：

• 使用低介电常数，低纤维含量，成分均匀的物料；
• 降低介电层厚度；
• 降低铜箔厚度；
• 控制导线均匀性；
• 使用好的阻抗计算软体及性能优秀的阻抗测试仪器。

图7：阻抗控制关键因素优化对比